该厂为8英尺晶圆生育线整套搭配的超注射用水模式,定期呈现含硅废污水150吨。废污硫酸铜溶液虽无高价属,但硅量高易积垢,且电阻器率需提升18MΩ·cm方可循环。多余处理工学院艺没办法够满足新制定的《光电子企业水感染物排放量物规范标准》(GB39731-2020)尤其是排放量物限制值。
工业废水的成分特征
核心污染破坏物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(比表面积0.1-1μm)
层次性标准
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
地表水特征参数
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物形态特征较为复杂
外理鑫霖环保具体流程
创新性主要采用"梯级膜剥离 +电去化合物"团体新工艺:
微滤预治理
:1μm陶瓷制品膜屏蔽短信大粒子硅,通量确保80LMH
阴阳离子交流不饱和树脂
:D201大孔硅胶粘合剂会可选择性活性炭吸附硅酸大分子
三级RO设计
:其二段的回收利用率60%,其二段分为高脱硼膜部件
EDI电去亚铁离子
:直流电硬度2A/m²,一直删去残存阴阳离子
UV紫外线除臭
:254nmUVUV线用量40mJ/cm²
工艺新亮点
開發专门的阻硅剂(有机质胺类挽回物),减慢膜生态破坏周期公式3倍
EDI方案特色化流道装修设计,硅清除率不断提升至99.8%
网上硅概述仪(检测的范畴0.1-500μg/L)保证优质管控
执行取得成效
经第3方协议书方查重:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼占比从8μg/L调至0.3μg/L
机系统回笼率从原40%提升自己至68%
膜改换定期增长至5年,年操作生产成本大幅度降低35%